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晶圆激光隐切设备 | LSD
晶圆激光隐切设备 | LSD
应用领域
MEMS、RFID、SiC隐切划片
产品特点
  • 定制激光器,适用MEMS、SiC晶圆

  • 独特光学方案,实时检测激光源,及时发现衰减

  • 实时跟随系统,可避免晶圆厚度误差导致切深误差

  • SiC 4/6/8寸兼容,MEMS 8/12寸兼容

技术指标
激光波长355nm
激光输出功率15/30W
加工方式扫描式与直线平台 / 旋转平台组合运动,自动图形拼接
定位精度±1μm
加工精度±5μm
晶圆尺寸6寸、8寸、12寸
崩边<10μm